Caracterización eléctrica de partículas coloidales de oro sobre nanoelectrodos
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URI: http://hdl.handle.net/10317/169Share
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Murcia Hernández, RocíoDirector/a
Martínez Viviente, Félix LorenzoCenter
Escueal Técnica Superior de Ingeniería de TelecomunicaciónKnowledge Area
ElectrónicaPublication date
2007-04-21Keywords
NanotecnologíaAbstract
[SPA]En este trabajo han sido fabricados nanoelectrodos usando un nuevo concepto de fabricación
consiguiendo de esta manera electrodos con una separación de aproximadamente unos 20
nm. Estos nanoelectrodos han sido utilizados para realizar medidas eléctricas de
conductancia. Los dispositivos se han fabricados usando obleas de material Silicon On
Insulator, esta obleas están formadas por una capa superior de Silicio con 5 μm de espesor
(resistividad de 1–10 Ω cm) la cual está separada de un capa inferior de 400 μm de silicio a
través de una capa de dióxido de Silicio de 20 nm de anchura. En todos los pasos de
preparación de las muestras solamente se han utilizado procesos estándar de
microprocesamiento de Silicio. Después de cortar oblea en fragmentos de 9 × 9 mm2 de área,
estructuras plateau‐like mesa han sido formadas través de litografía óptica convencional y dos
pasos consecutivos de reactive ion etching (RIE). En el siguiente paso, la capa de óxido de
silicio sufre una ...
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